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工業(yè)超純水設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
超純水在電子半導(dǎo)體行業(yè)中的作用:
電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床/EDI系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦與客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級:
1、高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為:GB1146.1-89至GB1146.11-89。
2、高純水的電子級水分為五個(gè)級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而制定的。
3、電阻分別對應(yīng)為:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的優(yōu)勢:
工業(yè)用超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,不會因?yàn)闃渲偕V惯\(yùn)行,設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相對靠緊,所以其占地較小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,工業(yè)用超純水設(shè)備在出廠前均需進(jìn)行裝置調(diào)試,所以設(shè)備故障幾率較小,日常保養(yǎng)、維修等操作都十分簡單。
工業(yè)用超純水設(shè)備在電子半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用十分重要,為該行業(yè)的生產(chǎn)提供無菌、無雜質(zhì)的高純度水,確保生產(chǎn)的電子產(chǎn)品品質(zhì)不會受到水質(zhì)的影響。